特許

J-GLOBAL ID：200903037193394821

湿度検知素子

発明者： 坂本 哲野 ,  兼堀 正史
出願人/特許権者： 株式会社クラベ
代理人 (1件)： 井ノ口 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315941
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148122
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 誘電体材料の誘電率が水分子の吸着によって変化することを利用して雰囲気の相対湿度を検知する静電容量湿度検知素子に優れた透湿性を有する保護層を設ける。【構成】 本発明による湿度検知素子は、シリコン単結晶基板2と、前記基板2の裏面に形成されたオーム接触の金属電極層1と、前記基板2の表面に形成されたビフェニルテトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分から重合およびイミド化することにより得られる有機極性溶媒に可溶なポリイミド膜からなる感湿層3と、前記感湿層3の表面に前記感湿層を部分的に露出させて形成された金属電極薄膜4と、前記金属電極薄膜4と、前記感湿層3の上に塗布され、露光,現像,焼成および硬化の過程を経て形成された感光性ポリイミド樹脂5からなる表面保護層を備えて構成されている。

請求項（抜粋）：

誘電体材料の誘電率が水分子の吸着によって変化することを利用して雰囲気の相対湿度を検知する静電容量湿度検知素子であって、シリコン単結晶基板と、前記基板の裏面に形成されたオーム接触の金属電極層と、前記基板の表面に形成されたビフェニルテトラカルボン酸成分と芳香族ジアミン成分から重合およびイミド化することにより得られる有機極性溶媒に可溶なポリイミド膜からなる感湿層と、前記感湿層の表面に前記感湿層を部分的に露出させて形成された金属電極薄膜と、前記金属電極薄膜と前記感湿層の上に塗布され、露光,現像,焼成および硬化の過程を経て形成された感光性ポリイミド樹脂からなる表面保護層を有する湿度検知素子。