特許

J-GLOBAL ID：200903037211755667

Cr合金ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法

発明者： 井上 謙一
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346804
公開番号（公開出願番号）：特開2002-212707
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 局部溶融の発生が少なく、安定した放電特性が得られ、かつ長寿命であるCr合金ターゲット材を提供する。また、その製造方法、そして、これら技術を利用することによる皮膜コーティング方法を提供する。【解決手段】 ターゲット材組織中に面積率で純Si相が5%以下、ターゲット材構成元素による金属間化合物相が40%以下存在するCr合金ターゲット材、具体例として、ターゲット材組織中に面積率で純Si相が5%以下、ターゲット材構成元素による金属間化合物相が40%以下、残部実質的にターゲット材構成元素による固溶相のCr合金ターゲット材である。Si:1〜40原子%含み、残部実質的にCrであることが好ましい。Bを1〜7原子%添加することも有効である。本発明のターゲット材は、アークイオンプレーティング用に好ましく、例えば摺動部品、切削工具、金型の表面コーティング用に使用できる。

請求項（抜粋）：

Siを含むCr合金ターゲット材において、ターゲット材組織中に面積率で純Si相が5%以下、ターゲット材構成元素による金属間化合物相が40%以下であることを特徴とするCr合金ターゲット材。

IPC (8件)：

C23C 14/24 ,  B21D 37/20 ,  B22F 3/02 ,  B22F 3/14 ,  B22F 3/15 ,  C22C 27/06 ,  C23C 14/34 ,  B23B 27/14

FI (8件)：

C23C 14/24 E ,  B21D 37/20 Z ,  B22F 3/02 P ,  B22F 3/14 ,  B22F 3/15 G ,  C22C 27/06 ,  C23C 14/34 A ,  B23B 27/14 A

Fターム (16件)：

3C046FF11 ,  3C046FF21 ,  4E050JB09 ,  4E050JD03 ,  4K018AA40 ,  4K018BA20 ,  4K018DA12 ,  4K018EA12 ,  4K018KA29 ,  4K029BA58 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09