特許

J-GLOBAL ID：200903037212674040

ホルダ、搬送装置、及び、受け渡しステージ

発明者： 岸 昭洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-215000
公開番号（公開出願番号）：特開平11-059893
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】面積の大きな薄板状の被搬送物の破損を防ぎ容易に搬送することのできるホルダを提供すること。【解決手段】基板ホルダ21には、薄板状の被搬送物としてのガラス基板Gを収容する収容部22が凹設されている。収容部22は、収容されたガラス基板Gの上面が基板ホルダ21の上面21aよりも低くなるように形成されている。そして、ガラス基板Gは、基板ホルダ21の収容部22に収容された状態で搬送される。従って、ガラス基板Gは、基板ホルダ21によって撓まずに搬送される。

請求項（抜粋）：

薄板状の被搬送物を搬送装置にて搬送するために用いられるホルダであって、上方に開口し、前記被搬送物を収容する収容部と、前記搬送装置のアームが側方から挿入される挿入孔とを備えたホルダ。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/48

FI (3件)：

B65G 49/06 Z ,  B65D 85/00 F ,  B65D 85/48