特許

J-GLOBAL ID：200903037212837586

表示装置およびその製造方法

発明者： 福地 順 ,  田村 達彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317396
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150887
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 チップオングラス(COG)構造の表示装置において、そのゲート引き出し部を低抵抗化する。【解決手段】 支持基板1上に所定のパターンのTi薄膜2を下地層とし、その上にAl膜3、Ti薄膜4を順次積層するとともに、Al膜3の側壁面をTi薄膜5で覆って、ゲート引き出し部6を構成した。Al膜3は導電性が良好であり、それによってゲート引き出し部6が低抵抗化される。また、Al膜3がTi薄膜2、4、5で前面が被覆保護されているので、基板1との界面に沿って不純物や水分が侵入してAlを汚染腐食するというようなおそれが解消された。

請求項（抜粋）：

チップオングラス(COG)構造の表示装置において、絶縁性支持基板上に配置したゲート引き出し部を、チタン膜、アルミニウム膜およびチタン膜の三層とし、さらに前記アルミニウム膜の側壁部を前記チタン膜で被覆してなることを特徴とする表示装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 ,  C23F 1/16 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/308 ,  H01L 21/768

FI (6件)：

H01L 29/78 617 T ,  C23F 1/16 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/308 F ,  H01L 21/90 B ,  H01L 29/78 617 J

Fターム (56件)：

2H092GA35 ,  2H092GA60 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092MA17 ,  2H092NA19 ,  2H092NA28 ,  2H092PA01 ,  4K057WA12 ,  4K057WB05 ,  4K057WB15 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WE12 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F033GG04 ,  5F033HH35 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ35 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033KK18 ,  5F033MM05 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ20 ,  5F033RR03 ,  5F033RR06 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX02 ,  5F033XX05 ,  5F033XX10 ,  5F043AA22 ,  5F043BB16 ,  5F043FF04 ,  5F110AA03 ,  5F110AA14 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE42 ,  5F110FF01 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110QQ05