特許
J-GLOBAL ID：200903037216625125
クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
一色 健輔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090144
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 交換作業時の足場を確保することで、ケミカルフィルタの交換作業性を向上する。【解決手段】 本発明の取付け構造は、クリーンルーム10内の天井部に配置され、かつ下面にUPLAフィルタ4を配置し、内部にファン5を設けたユニットケーシング3の天井裏側表面に、開閉可能に蓋22される点検口18を設け、この点検口18を通じてマット状に形成されたケミカルフィルタ24を出し入れ可能に格納し、前記UPLAフィルタ4上に設置する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内の天井部に配置され、かつ下面にフィルタを配置し、内部にファンを設けたユニットケーシングの天井裏側表面に、開閉可能に蓋される点検口を設け、この点検口を通じてマット状に形成されたケミカルフィルタを出し入れ可能に格納し、前記フィルタ上に設置することを特徴とするクリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造。
IPC (3件)：
B01D 46/10
, B01D 39/00
, F24F 7/06
B01D 46/10 B
, B01D 39/00 B
, F24F 7/06 C
