特許
J-GLOBAL ID:200903037218514134
反射防止膜
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
阪本 善朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-161819
公開番号(公開出願番号):特開2000-347002
出願日: 1999年06月09日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】 高屈折率の基板に反射防止膜を設ける。【解決手段】 屈折率が例えば2.0を越える基板10上に、基板10より屈折率の低い高屈折率層である第1、第3、第5層21,23,25と、中屈折率層あるいは低屈折率層である第2、第4層22,24と、低屈折率層である第6層26からなる6層構成の交互多層膜20を積層し、各層の光学的膜厚を最適化する。基板10が高屈折率であっても、可視光域全域で反射率0.5%以下の反射防止膜を実現できる。
請求項(抜粋):
高屈折率の基板に積層された6層の薄膜からなる交互多層膜を有し、該交互多層膜の前記基板側から第1層と第3層と第5層が前記基板より屈折率の低い高屈折率層であり、第2層および第4層がそれぞれ中屈折率層または低屈折率層であり、第6層が低屈折率層であることを特徴とする反射防止膜。
Fターム (3件):
2K009AA09
, 2K009CC03
, 2K009CC06
引用特許:
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