特許

J-GLOBAL ID：200903037222233182

膜厚測定方法

発明者： 石井 信人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323802
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147838
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 光の雑音を消去し、かつ試料の全面の観察をしながらの微小領域の膜厚測定方法を提供することである。【構成】 あらかじめ、薄膜が載置されるステージ上の部分を暗黒にした状態で白色光を照射したとき、受光素子が発生する雑音出力信号を記憶手段に記憶しておき、分光測光時に、受光素子が発生する測定出力信号から雑音出力信号を減じて所定の分光光度曲線を算出する。光量モニターを使用することもできる。

請求項（抜粋）：

薄膜に照射された白色光の干渉反射光を分光測光することにより、膜厚を測定する膜厚測定方法において、あらかじめ、前記薄膜が載置されるステージ上の部分を暗黒にした状態で前記白色光を照射したとき、受光素子が発生する雑音出力信号を記憶手段に記憶しておき、分光測光時に、前記受光素子が発生する測定出力信号から前記雑音出力信号を減じて分光反射率を算出し、膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法。