特許

J-GLOBAL ID：200903037222400496

プローブ装置

発明者： 山坂 力仁
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082645
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260871
出願日： 1998年03月14日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 従来の場合には、図8に示すようにプローブカード2はその周縁部で接続リング3、パフォーマンスボード4及びテストヘッド5の順でポゴピン6を介してあらゆる種類のプローブカード2に対応させて電気的に接続されているため、検査時にプローブ針2AからウエハWに針圧が掛かると、その反力でプローブカード2の平坦度が低下する。また、検査によっては使用しないポゴピン6ができる。また、プローブカード2とテストヘッド5の間の配線が長く周波数特性が低下する。【解決手段】 本発明のプローブ装置は、パフォーマンスボード13の下面接触用電極13Aを中央部に集めて配置すると共に下面接触用電極13Aに対応する貫通孔16Aを有するスペーサ16をパフォーマンスボード13に取り付け、且つ、プローブカード12とスペーサ16との間に隙間δを介在させると共に各バンプ12A及びこれらに対応する下面接触用電極13Aの双方と弾接するポゴピン18をスペーサ16の貫通孔16Aに装着したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査体を載置するX、Y、Z及びθ方向に移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置された複数の接触子を有するプローブカードと、このプローブカードと電気的に接続されたパフォーマンスボードとを備え、上記接触子と上記被検査体の検査用電極とを接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置おいて、上記パフォーマンスボードのプローブカード側の接触用電極を中央部に集めてマトリックス状に配置すると共に上記各接触用電極に対応するマトリックス状の貫通孔を有するスペーサを上記パフォーマンスボードに取り付け、且つ、上記プローブカードを上記スペーサとの間に隙間を介在させて上記パフォーマンスボードに取り付けると共に上記各接触子及びこれらに対応する上記接触用電極の双方と弾接する弾性中継端子を上記スペーサの貫通孔に装着したことを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• オゾン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-080389   出願人：石川島芝浦機械株式会社, 石川島播磨重工業株式会社