板材洗浄方法および板材洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：工藤宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227341
公開番号（公開出願番号）：特開2003-039031
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月12日
要約：

【要約】【課題】小さなスペースで、大型のガラス基板を破損することなく、油脂や酸化被膜等を効率的に除去して、ゴミの発生も押さえることができる板材洗浄方法および装置を提供する。【解決手段】純水を冷却して氷結させて微小氷粒とする氷粒製造手段4と、前記氷粒と高圧気体を混合してエアロゾル化する氷粒気体製造手段7と、この氷粒気体製造手段7で製造された氷粒気体と温純水を混合して温氷水を製造する温氷水製造手段8と、前記温氷水をガラス基板等の板材表面に噴出させて洗浄する温氷水洗浄手段9とを有し、温氷水をガラス基板等の板材表面にその面とほぼ平行に、かつ両面から同じ圧力で噴出させて洗浄する。ガラス基板等の板材を垂直に支持して温氷水洗浄手段9の噴出口に対向する方向に移動させる取り付け台を備えた。

請求項（抜粋）：

純水を用いて板材表面を洗浄する板材洗浄方法において、前記純水を所定の温度に加温して製造した温純水と前記純水を冷却して製造した氷粒とを混ぜて温氷水とし、この温氷水を板材表面に噴出させて洗浄することを特徴とする板材洗浄方法。

IPC (7件)：

B08B 7/00 , B08B 3/02 , B08B 7/04 , C03C 23/00 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 651

FI (7件)：

B08B 7/00 , B08B 3/02 B , B08B 7/04 Z , C03C 23/00 A , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 Z , H01L 21/304 651 L

Fターム (27件)：

2H090JB02 , 2H090JC01 , 2H090JC17 , 2H090JC18 , 2H090JC19 , 2H090JD14 , 3B116AA02 , 3B116AB14 , 3B116AB44 , 3B116BA06 , 3B116BB38 , 3B116BB88 , 3B116BB90 , 3B116CC03 , 3B116CD33 , 3B116CD41 , 3B201AA02 , 3B201BA06 , 3B201BB38 , 3B201BB88 , 3B201BB90 , 3B201BB93 , 3B201CC12 , 3B201CD33 , 4G059AA01 , 4G059AA08 , 4G059AC30

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