短パルス波長可変ラマンレーザーによる物質の加工方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-076026
公開番号（公開出願番号）：特開2002-273581
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】物質に応じた吸収波長(あるいは多光子吸収波長)の短パルスレーザー光を用いて効率よく精度の高い加工又は計測を行う技術を提供する。【解決手段】被加工物に、空間集中(高品質ラマンレーザー光)、時間集中(短パルスラマンレーザー光)、吸収集中(波長可変ラマンレーザー光)の特性を生かして高密度に光エネルギーを収集し瞬時に固体をガス化することにより加工物に熱影響を与えずに精密加工を施したり、皮膚内部の状況を観察する場合の医療技術やガラスなどの透明体の内部加工を行う。レーザーとしてはビーム質のよい短パルスラマンレーザーが使用され、対象物質の吸収波長に対応した波長を、ラマン媒質等を用いることにより、対象物質に光を効率的に集中させて吸収させることができる。

請求項（抜粋）：

高品質空間特性による空間集光性、短パルスレーザー(サブピコ秒〜ピコ秒級)による時間集光性、被加工物質の光学吸収波長特性に合致した吸収波長による光吸収特性の3つの特性のいずれか、或いはそれらの組み合わせ特性を生かして高密度で被加工物質に光を集中させて、物質中に発生した熱影響の伝播よりも高速で加工することを特徴とする短パルスレーザー光による物質の加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/00 , C03C 23/00 , G02F 1/35 502 , H01S 3/30

FI (5件)：

B23K 26/00 A , B23K 26/00 N , C03C 23/00 Z , G02F 1/35 502 , H01S 3/30 Z

Fターム (25件)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002AB27 , 2K002AB40 , 2K002CA02 , 2K002CA03 , 2K002HA23 , 4E068CA01 , 4E068CA03 , 4E068CK01 , 4E068DB12 , 4E068DB13 , 4G059AA01 , 4G059AB05 , 4G059AB19 , 4G059AC08 , 4G059AC20 , 5F072AB20 , 5F072KK12 , 5F072QQ02 , 5F072QQ07 , 5F072SS06 , 5F072TT01 , 5F072YY01 , 5F072YY06

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