特許
J-GLOBAL ID:200903037237633063

クリーンユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 善▲廣▼ (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-300273
公開番号(公開出願番号):特開2002-106905
出願日: 2000年09月29日
公開日(公表日): 2002年04月10日
要約:
【要約】【課題】 同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空気清浄装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも清浄空間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニットを提供する。【解決手段】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とするクリーンユニット。
IPC (9件):
F24F 7/06 ,  B01D 46/42 ,  B62B 3/00 ,  B62B 5/00 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
FI (9件):
F24F 7/06 C ,  B01D 46/42 Z ,  B62B 5/00 E ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 Z ,  F24F 7/00 A ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/68 A ,  B62B 3/00 D
Fターム (30件):
3D050AA11 ,  3D050AA13 ,  3D050BB04 ,  3D050BB10 ,  3D050DD01 ,  3D050EE08 ,  3D050EE15 ,  3D050GG01 ,  3D050KK09 ,  3L058BD00 ,  3L058BE08 ,  3L058BF03 ,  3L058BF06 ,  3L058BF07 ,  3L058BF08 ,  4D058JA12 ,  4D058KC02 ,  4D058LA01 ,  4D058LA02 ,  4D058LA08 ,  4D058QA01 ,  4D058QA13 ,  4D058SA04 ,  4D058UA05 ,  4D058UA08 ,  4D058UA25 ,  5F031CA02 ,  5F031CA20 ,  5F031GA57 ,  5F031NA07
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 清浄室装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-299936   出願人:株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社

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