特許
J-GLOBAL ID：200903037237750787
ノズルプレートの製造方法及びノズルプレート、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置の製造方法及び液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小林 久夫
, 安島 清
, 佐々木 宗治
, 大村 昇
, 高梨 範夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-376823
公開番号（公開出願番号）：特開2007-175992
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】安定した吐出特性を有するとともに、ノズル密度すなわち高密度化を図ることができる液滴吐出用のノズルプレート製造方法及びノズルプレート、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置の製造方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】ノズル孔11が、吐出方向の先端側が円形の一定断面の円筒状ノズル部分で構成され、その後側が後方に向けて開口断面が段階的に大きくなるテーパー状ノズル部分で構成されており、フォトリソグラフィー法によって形成したレジストエッチングマスクを用いて基板をエッチング除去する工程を少なくとも2回以上繰り返し行うことでテーパー状ノズル部分を形成するものである。【選択図】図3c
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートの製造方法において、
前記ノズル孔は、吐出方向の先端側が円形の一定断面の円筒状ノズル部分で構成され、その後側が後方に向けて開口断面が段階的に大きくなるテーパー状ノズル部分で構成されており、
フォトリソグラフィー法によって形成したレジストエッチングマスクを用いて基板をエッチング除去する工程を少なくとも2回以上繰り返し行うことで前記テーパー状ノズル部分を形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/135
, B41J 2/055
, B41J 2/045
, B05C 5/00
, G02B 5/20
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103A
, B05C5/00 101
, G02B5/20 101
2C057AF33
, 2C057AF93
, 2C057AG02
, 2C057AG54
, 2C057AP12
, 2C057AP32
, 2C057BA04
, 2C057BA15
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA55
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA38
