特許

J-GLOBAL ID：200903037244825067

ドライエッチングガス

発明者： 関屋 章 ,  高垣 哲也 ,  森川 眞介 ,  山下 俊一 ,  高市 侃 ,  日比野 泰雄 ,  古高 靖久 ,  大塚 宣文
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  財団法人機械システム振興協会 ,  社団法人 日本電子機械工業会 ,  旭硝子株式会社 ,  関東電化工業株式会社 ,  昭和電工株式会社 ,  セントラル硝子株式会社 ,  ダイキン工業株式会社 ,  三井・デュポンフロロケミカル株式会社
代理人 (2件)： 池浦 敏明 (外1名) ,  池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316543
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140441
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】 地球温暖化係数の低いドライエッチングガス及びそれを用いるプラズマ加工方法を提供する。【解決手段】 炭素、フッ素及び酸素よりなり、かつ不飽和結合を有する化合物からなることを特徴とするドライエッチングガス。前記ドライエッチングガスをプラズマ化して得られるプラズマガスを用いて被加工材料を加工することを特徴とするプラズマ加工方法。

請求項（抜粋）：

炭素、フッ素及び酸素よりなり、かつ不飽和結合を有する化合物からなることを特徴とするドライエッチングガス。

IPC (2件)：

C09K 13/08 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

C09K 13/08 ,  H01L 21/302 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• エッチングガスおよびクリーニングガス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-180518   出願人：ダイキン工業株式会社
• エッチングガスおよびクリーニングガス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-027382   出願人：ダイキン工業株式会社