特許
J-GLOBAL ID：200903037248153330
ウェットエッチング装置及びフィルタ再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092951
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310487
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 エッチング用処理液中のパーティクルで目詰りを起したフィルタを再生する。【構成】 フィルタ9及びポンプ10を含むエッチング用処理液循環ラインに、薬液槽11からの薬液L2と純水供給部16からの純水とを供給して、フィルタ9のパーティクルを溶解,除去する。これにより、フィルタ9の目詰りをなくして、フィルタ9を再生する。
請求項（抜粋）：
エッチング処理部と、フィルタ再生部と、流路切替部とを有し、処理液中に被エッチング材を浸漬し、処理液中のパーティクルを捕捉し、浄化された処理液を循環させて被エッチング材をウェットエッチング処理するウェットエッチング装置であって、エッチング処理部は、処理槽と、フィルタと、ポンプとを有し、処理槽は、エッチング用の処理液が充填されたものであり、フィルタは、処理液中に含まれるパーティクルを捕捉するものであり、ポンプは、処理槽からオーバーフローした処理液を前記フィルタに通して前記処理槽に循環させるものであり、フィルタ再生部は、前記ポンプにより薬液をフィルタに供給し、該薬液でフィルタのパーティクルを溶解,除去させ、その処理後に前記フィルタ及びポンプを純水で洗浄してフィルタを再生するものであり、流路切替部は、前記フィルタ及びポンプを、処理液の配管系と、薬液及び純水の配管系とに切替えて接続し、かつ処理槽内の廃棄用処理液と、フィルタ再生後の処理済薬液及び廃水とを廃棄配管系に廃棄処分するものであることを特徴とするウェットエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, C23F 1/08 101
