特許
J-GLOBAL ID：200903037262283409
プローブカードクランプ機構及びプローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-357665
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189669
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 従来は、ポゴピンに対してプローブカード3が傾斜して接触し、ひいてはポゴピンに無理な力が加わってポゴピンを損傷したり、一部のポゴピンとプローブカード3の接続端子との接触が不十分で安定した検査を実施できなくなる虞があった。【解決手段】 カードホルダークランプ機構(インサートリング)2は、ヘッドプレート1Aに固定された固定リング21と、その下面に取り付けられ、回転してカードホルダー31外周の複数箇所の係止用フランジ31Cをクランプする、プローブカード3を固定リング21に対して固定や解放をするためのロックリング22を備える。ロックリング22の内周面にカードホルダー31の各係止用フランジ31Cがそれぞれ通る切欠部22Eを複数設け、それにカムフォロワ22Fをそれぞれ設け、カードホルダー31の各係止用フランジ31Cの下面にはカム31Dを設けた。
請求項（抜粋）：
被検査体の電気的特性を行うプローブ装置の装置本体にプローブカードを固定する機構において、上記装置本体のヘッドプレートに固定された固定リングと、この固定リングの下面に取り付けられ且つ正逆回転してカードホルダー外周の複数箇所の係止用フランジをクランプしあるいはクランプを解除してプローブカードを上記固定リングに対して固定しまた上記固定リングから解放するロックリングと、このロックリングを正逆回転させる駆動手段とを備え、上記ロックリングの内周面に上記カードホルダーの各係止用フランジがそれぞれ通る切欠部を複数設けると共にこれらの切欠部にカムフォロワをそれぞれ設け、且つ、上記カードホルダーの各係止用フランジの下面には傾斜面からなるカムを設けたことを特徴とするプローブカードクランプ機構。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 31/28
H01L 21/66 B
, G01R 1/06 E
, G01R 31/28 K
