特許
J-GLOBAL ID：200903037262596652
マスクとワークとの位置合わせ装置およびそれを使用した位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195604
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029815
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 マスク保持機構やアライメント用光学系の構成要素の保持機構が、装置全体の振動や熱膨張の影響を受けて位置ズレあるいは変形しても、その影響を受けることなく、正確にワークとマスクの位置合わせができる装置とそれを使用した方法を提供する。【構成】 マスクのマークに投影される第1の基準マークを有する第1の基準マスクと、ワークのマークに投影される第2の基準マークを有する第2の基準マスクとを近接配置した基準マスクセットを、位置合わせ用光学系の途中に配置する。
請求項（抜粋）：
マスクのマークに投影される第1の基準マークを有する第1の基準マスクと、ワークのマークに投影される第2の基準マークを有する第2の基準マスクとを近接配置した基準マスクセットを、位置合わせ用光学系の途中に配置してなることを特徴とするマスクとワークとの位置合わせ装置。
IPC (2件)：
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