特許

J-GLOBAL ID：200903037264881184

表面疵検査装置及びその方法

発明者： 山田 善郎 ,  大重 貴彦 ,  上杉 満昭 ,  的場 有治 ,  猪股 雅一 ,  吉川 省二 ,  河村 努 ,  杉浦 寛幸
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-099128
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295239
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】 模様状ヘゲ欠陥を表面ムラに影響されずに検出する。【解決手段】 表面にムラを有する被検査面21をp偏光成分とs偏光成分とを有する照明光で照明する光源22と、被検査面からの受光角が、ムラの要因物質のブリュースター角より大きく設定され、照明光の正反射光を受光する第1の受光手段27と、受光角が、この受光角と入射角との和が要因物質のブリュースター角の2倍より大きく設定され、照明光の正反射光以外の光を受光する第2の受光手段28と、正反射光及び正反射光以外の光に基づいて被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部31とを備え、照明光のp偏光成分に対するs偏光成分の比率αが、被検査面の材質のp偏光反射率Rpとs偏光反射率Rs、ムラの要因物質のp偏光反射率R’pとs偏光反射率R’sとの間で、Rp+αRs=R’p+αR’sの関係を満たす。

請求項（抜粋）：

表面にムラを有する被検査面の所定範囲をp偏光成分とs偏光成分とを有する照明光で照明する光源と、前記被検査面からの受光角が、前記ムラの要因物質のブリュースター角より大きく設定され、前記照明光の正反射光を受光する第1の受光手段と、前記被検査面からの受光角が、この受光角と前記被検査面に対する前記光源からの照明光の入射角との和が前記ムラの要因物質のブリュースター角の2倍より大きく設定され、前記照明光の正反射光以外の光を受光する第2の受光手段と、前記第1及び第2の受光手段で受光された正反射光及び正反射光以外の光に基づいて前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備え、前記照明光のp偏光成分に対するs偏光成分の比率αが、前記被検査面の材質のp偏光反射率Rpとs偏光反射率Rs、前記ムラの要因物質のp偏光反射率R’pとs偏光反射率R’sとの間で、Rp+αRs=R’p+αR’sの関係を満たすことを特徴とする表面疵検査装置。