特許
J-GLOBAL ID：200903037268741000
合成石英ガラスの製造装置およびそれを用いた製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216130
公開番号（公開出願番号）：特開平8-081224
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 2次処理が不要な高純度で高均質な合成石英ガラスを製造するための製造装置及び製造方法を提供する。【構成】 石英ガラスの合成面より下部でインゴットが形状保持をしている部分に流体を直接吹き付けるか、もしくは合成面より下部のインゴット形状を保持している部分の炉壁の温度を流体によって強制的に冷却し、合成面の位置によってこの流体の量を制御してインゴットの形状保持を行う。
請求項（抜粋）：
Si化合物ガスと酸素ガスと水素ガスとを噴出し、ターゲット上に石英ガラス粉を堆積しガラス化させ、インゴットを形成する石英ガラスの製造方法において、合成面の温度が2000°C以上、合成面の温度分布が50°C以内、かつインゴットの成長方向に合成面から離れるにしたがって、温度が降下する温度勾配を設けることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03C 3/06
