特許

J-GLOBAL ID：200903037275907398

強誘電体薄膜形成用塗布溶液

発明者： 桂木 速人 ,  山手 拓 ,  森 清人
出願人/特許権者： 関東化学株式会社
代理人 (1件)： 川上 宣男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114323
公開番号（公開出願番号）：特開平9-278415
出願日： 1996年04月12日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】 基板上に強誘電体薄膜を形成させるための毒性が低く、生殖機能への影響が少ない安全な塗布溶液を開発すること。【解決手段】 プロピレングリコールモノメチルエーテルおよび、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

請求項（抜粋）：

プロピレングリコールモノメチルエーテルおよび、またはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと有機金属化合物とを含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

IPC (5件)：

C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  C01G 35/00 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

C01B 13/32 ,  C01G 25/00 ,  C01G 29/00 ,  C01G 35/00 ,  H01L 41/18 101 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 酸化物薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-134851   出願人：富士ゼロックス株式会社
• ジルコニウム系複合酸化物形成用塗布液及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-005996   出願人：東京応化工業株式会社