特許

J-GLOBAL ID：200903037287631029

ウェーハ搬送装置

発明者： 山下 洋人 ,  野田 勝浩
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318135
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150612
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】ウェーハ搬送装置において、過負荷状態を検知した際に、ウェーハ搬送アームがスムーズに後退できるようにして、ウェーハホルダ、ウェーハカセット、ウェーハ等の破損、転倒、落下等を防止できるようにする。【解決手段】ウェーハ搬送アーム20を固定ベース30に対して往復動自在に案内して支持する案内支持手段40を、ウェーハ搬送アームの可動ベース23に形成した第1の案内溝23bと、固定ベース30に形成した第2の案内溝31aと、第1の案内溝及び第2の案内溝の間に介在されて転動するクロスローラ41とにより形成して、過負荷状態となったときに、ウェーハ搬送アーム20がスムーズにかつ素早く後退できるようにした。

請求項（抜粋）：

ウェーハを載置して搬送するウェーハ搬送アームと、前記ウェーハ搬送アームを担持する固定ベースと、前記ウェーハ搬送アームを前記固定ベースに対して移動可能に案内して支持する案内支持手段と、前記ウェーハ搬送アーム及び前記固定ベースの間に介在されて両者の間に所定の付勢力を及ぼす付勢手段と、前記ウェーハ搬送アームに所定以上の負荷が加わった状態を検知し駆動源を停止させる信号を発する過負荷検知手段と、を備えるウェーハ搬送装置であって、前記案内支持手段は、前記ウェーハ搬送アーム側に形成された第1の案内路と、前記固定ベース側に形成された第2の案内路と、前記第1の案内路及び前記第2の案内路の間に介在されて転動する転動体とを有する、ことを特徴とするウェーハ搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 17/02 ,  B25J 19/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 17/02 J ,  B25J 19/06

Fターム (21件)：

3F059CA02 ,  3F059DC01 ,  3F059DC07 ,  3F059DD12 ,  3F060AA01 ,  3F060BA00 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA05 ,  3F060FA11 ,  3F060GB00 ,  3F060GD05 ,  3F060GD15 ,  3F060HA32 ,  5F031CA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031JA05 ,  5F031JA47 ,  5F031JA51 ,  5F031PA20