異物検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-296006
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134392
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【構成】半導体装置等の製造におけるフォト工程で使用される、フォトマスク面上の異物を検査し、前記異物を観察表示する機能を有する異物検査装置において、前記異物と、あらかじめ設定しておいた前記フォトマスクのチップ配置とを重ね合わせて画面上に表示することができる。【効果】フォトマスク面上の異物の位置を知ることができると共に、異物の検査観察及び不良判断を確実に、かつ容易に行うことができる。

請求項（抜粋）：

半導体装置等の製造におけるフォト工程で使用される、フォトマスク面上の異物を検査し、前記異物を観察表示する機能を有する異物検査装置において、前記異物と、あらかじめ設定しておいた前記フォトマスクのチップ配置とを同時に表示する機能を有することを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , H01L 21/027

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