特許
J-GLOBAL ID：200903037291364329

蒸着装置、蒸着方法、液晶装置の製造方法

発明者：
田中 孝昭

田中 孝昭 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329588
公開番号（公開出願番号）：特開2003-129225
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：
【要約】【課題】 被蒸着材たる基板面全体に亙って、蒸着角度及び/又は蒸着膜厚のより均一な蒸着膜を形成することが可能な蒸着装置、及び蒸着方法、ならびに液晶装置の製造方法を提供する。【解決手段】 蒸着装置1は、蒸着物質の蒸気を生じさせる蒸着源2と、蒸着物質の蒸気が流通可能なスリット開口部3aを備える蒸気流通部3と、被蒸着材としての基板5を蒸着源2に対して所定角度傾斜させて配設する基板配設部7とを具備する蒸着室8、蒸着室8を真空にするための真空ポンプ10を備えている。蒸気流通部3は、蒸着源2と基板配設部7との間に配置され、スリット開口部3aにおいて段差部3bを備えており、スリット開口部3aには、蒸気の流通を制御するための蒸気流通制御部材4が段差部3bに嵌め込みにより挿脱可能な形態で形成されている。
請求項（抜粋）：
蒸着物質の蒸気を生じさせる蒸着源と、被蒸着材を前記蒸着源に対し所定の角度だけ傾斜させて配設させることが可能な被蒸着材配設部と、前記蒸着源と前記被蒸着材配設部との間に配設され前記蒸気が流通可能な蒸気流通部とを備え、前記蒸気流通部は、当該蒸気流通部の位置ごとに、単位時間当りの前記蒸気の流通量を異ならせることが可能な流通量制御手段を具備することを特徴とする蒸着装置。
IPC (5件)：
C23C 14/24 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1337 515 ,  G02F 1/1368
FI (5件)：
C23C 14/24 D ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1337 515 ,  G02F 1/1368
Fターム (29件)：
2H088EA12 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA03 ,  2H088JA03 ,  2H088MA04 ,  2H090HB02Y ,  2H090HC01 ,  2H090HC18 ,  2H090HD14 ,  2H090JB02 ,  2H090KA03 ,  2H090MA06 ,  2H090MB06 ,  2H092JA24 ,  2H092JB56 ,  2H092MA35 ,  2H092NA04 ,  2H092PA01 ,  2H092PA02 ,  2H092QA05 ,  4K029AA08 ,  4K029AA09 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029CA01 ,  4K029DB15 ,  4K029EA04
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平3-075360
  • 特開昭62-178924
  • 特開昭52-052656
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-075360
  • 特開昭62-178924
  • 特開昭52-052656

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