特許

J-GLOBAL ID：200903037296310065

静電チャック用の改良型コネクタ

発明者： チェン, ウィング, エル. ,  グリマード, デニス ,  サチ, シェン ,  ツァイ, チェン-シュン ,  ダス, アショク, ケー. ,  パーケー, ヴィジョイ, ディー.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-516286
公開番号（公開出願番号）：特表2003-524865
出願日： 2000年08月07日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】 静電チャック用の改良型コネクタ。【解決手段】 第1の要素を第2の要素に接続する装置であって、第1の要素はそこに取り付けられる第1接続部材を有し、第2の要素はそこに取り付けられる第2接続部材を有する。第1と第2の接続部材のいずれか一方にレリーフが設けられる。前記装置はコネクタであって、前記第1の要素は電源であり、前記第2の要素は静電チャックである。第1接続部材は上端に設けられるボアを有する。第2接続部材は第1接続部材を受け入れるためにスレッドの付いた開口を有する。あるいは、スレッド付き開口の放射状外側に配置される溝が第2接続部材に設けられる。レリーフが設けられた接続部材は、半導体ウエハ処理の間に熱膨張により生じる、部材に発揮される力を収容し、それに耐えることができる。

請求項（抜粋）：

第2の要素に第1の要素を接続する装置であって、 前記第1の要素に連合する第1のコネクタと、 前記第2の要素に連合する第2のコネクタとを備え、前記第1のコネクタと第2のコネクタの一方にレリーフが設けられる装置。

IPC (3件)：

H01R 13/533 ,  H01L 21/68 ,  H01R 13/60

FI (3件)：

H01R 13/533 A ,  H01L 21/68 R ,  H01R 13/60

Fターム (24件)：

5E021FA14 ,  5E021FB30 ,  5E021FC07 ,  5E021FC16 ,  5E021FC17 ,  5E021FC40 ,  5E087EE02 ,  5E087FF04 ,  5E087FF07 ,  5E087FF19 ,  5E087GG11 ,  5E087GG34 ,  5E087MM12 ,  5E087PP09 ,  5E087RR07 ,  5E087RR31 ,  5E087RR49 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA19 ,  5F031HA38 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11