特許

J-GLOBAL ID：200903037303475890

化学反応装置及び燃料電池システム並びにその製造方法

発明者： 竹山 啓之
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鹿嶋 英實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-156876
公開番号（公開出願番号）：特開2003-340273
出願日： 2002年05月30日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】【課題】 マイクロリアクタに用いる薄膜ヒータ及びヒータ配線を被覆する保護膜が良好に平坦化された化学反応装置を提供するとともに、該保護膜の形成工程において、基板表面の平坦性を向上させることができる製造方法を提供する。【解決手段】 マイクロリアクタは、主基板10の一面側に形成された反応流路20と、反応流路の開放端を閉止するように主基板10に接合された閉止基板30と、主基板10の他面側に、上記反応流路20の形成領域に対応して形成された薄膜ヒータ40と、薄膜ヒータ40上に積層形成されたヒータ配線50と、少なくとも、上記ヒータ配線50及び薄膜ヒータ40を含む領域に、保護膜形成材料を塗布し、平坦化工程で定温保持して表面を平坦化した後、溶剤蒸発工程で溶剤を蒸発させた後、膜形成反応工程にて膜形成反応を促進させ、焼成工程にて焼処理して得られる被覆膜からなる保護膜60と、を備えて構成されている。

請求項（抜粋）：

少なくとも連続的に形成された反応流路を有し、該反応流路内で第1の流体物質を第2の流体物質に変換する化学反応を生じる化学反応装置において、少なくとも、前記反応流路を含む領域に対応して形成され、前記反応流路に所定の熱量を供給する温度調整層と、該温度調整層の所定の領域に形成され、前記温度調整層において前記熱量を発生させるための電力を供給する配線層と、前記配線層あるいは前記温度調整層の積層高さを基準として、少なくとも、前記温度調整層を含む領域に所定の平坦性を有するように形成された絶縁性の保護膜と、を備えることを特徴とする化学反応装置。

IPC (4件)：

B01J 19/24 ,  C01B 3/32 ,  H01M 8/06 ,  H01M 8/10

FI (4件)：

B01J 19/24 A ,  C01B 3/32 A ,  H01M 8/06 G ,  H01M 8/10

Fターム (36件)：

4G075AA03 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA63 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075BB02 ,  4G075BC10 ,  4G075BD12 ,  4G075BD15 ,  4G075BD26 ,  4G075CA02 ,  4G075CA51 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA05 ,  4G075EB21 ,  4G075EE03 ,  4G075EE13 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FC07 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  4G075FC20 ,  4G140EA02 ,  4G140EA06 ,  4G140EA07 ,  4G140EB12 ,  4G140EB48 ,  5H026AA06 ,  5H027AA02 ,  5H027BA01 ,  5H027BA16 ,  5H027BA17