インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-003376
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198387
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】【課題】異方性エッチングによるインク供給口の開口部のバラツキを無くしたインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基板1の異方性エッチングする面とは逆側の面(上面)に、サンドブラスト、ドライエッチング等により予め縦堀10を形成しておき、この縦堀10を貫通するように基板1(下面)を異方性エッチングしてインク供給口9を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。

請求項（抜粋）：

基板を異方性エッチングしてインク供給口用の穴を形成する工程を含む、前記基板上に、吐出エネルギー発生素子と、該吐出エネルギー発生素子からのエネルギーをインクに作用させるための液路と、該エネルギーが作用したインクを吐出するための吐出口とを有し、該液路にインクを供給するための前記インク供給口を前記基板に有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記基板を異方性エッチングする前に、該基板の異方性エッチングする面とは逆側の面に予め凹部を形成しておき、該凹部を貫通するように前記基板を異方性エッチングして前記インク供給口用の穴を形成する工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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