特許
J-GLOBAL ID：200903037312353632
熱拡散処理用ウエハ支持ボート
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100616
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283156
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】本発明は、熱拡散工程にて、ウェハの結晶欠陥が発生しないようにした、ウェハ支持用ボートを提供することを目的とする。【構成】反応ガスが流れる横型熱拡散炉内にて反応ガス流に対して垂直に複数枚のウェハ16を並べて支持するように、長手方向に関して、少なくとも一ヶ所に形成された補強部分13,14を除いて、所定間隔に設けられた複数のウェハ支持用溝12を備えている、石英ガラスから成る、熱拡散処理用ウェハ支持ボート10において、上記複数のウェハ支持用溝のうち、長手方向に関して両端のウェハ支持用溝12a,12b及び上記補強部分13,14に隣接するウェハ支持用溝12c,12d,12e,12f,12g,12hには、ウェハと16同じ形状のダミーのウェハ16aが載置されているように、熱拡散処理用ウェハ支持ボート10を構成する。
請求項（抜粋）：
反応ガスが流れる横型拡散炉内にて反応ガス流に対して垂直に複数枚のウェハを並べて支持するように、長手方向に関して、少なくとも一ヶ所に形成された補強部分を除いて、所定間隔に設けられた複数のウェハ支持用溝を備えている、石英ガラスから成る、熱拡散処理用ウェハ支持ボートにおいて、上記複数のウェハ支持用溝のうち、長手方向に関して両端のウェハ支持用溝及び上記補強部分に隣接するウェハ支持用溝には、ウェハと同じ形状のダミーのウェハが載置されていることを特徴とする、熱拡散処理用ウェハ支持ボート。
IPC (4件)：
H01L 21/22 501
, H01L 21/22
, H01L 21/31
, H01L 21/324
