特許
J-GLOBAL ID：200903037314731812
カンチレバー変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267875
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107050
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】光学顕微鏡の対物レンズと試料の間に容易にカンチレバーを配置することを可能にする変位検出装置を提供する。【構成】固定台6に支持されたカンチレバー2の自由端部には探針1とミラー3が設けられている。固定台6は基台16の上の支持台7に着脱可能に設けられ、その上にはガラス部材11が移動可能に設けられる。ガラス部材11の端面にはレーザー光源8が固着されて、その内部にはビームLB0をミラー3へ偏向する光学ミラー13が設けられている。また、表面14と15にはビームLB3を反射し伝搬させるための反射膜が設けてある。ガラス部材11の端部にはビームLB4を受光して変位を検出するための受光素子9が設けられている。試料4を載せる円筒アクチュエータ5は基台16に固定されたZ粗動装置17に取り付けられている。対物レンズ105はガラス部材11の中央部の上方に配置される。
請求項（抜粋）：
カンチレバーにミラーを設け、このミラーに光ビームを照射し、カンチレバーの変位を検出するカンチレバー変位検出装置において、カンチレバーを保持する水平な上面を持った保持台と、光ビームを射出する光源と、光ビームを保持台にほぼ平行に伝搬させる手段と、保持台の上に配置される平板部材と、光ビームを偏向してミラーに導く平板部材に設けられた偏向手段とを備えていることを特徴とするカンチレバー変位検出装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
