特許
J-GLOBAL ID：200903037319537763
角速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308460
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127148
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 互いに直交する2軸周りの角速度を検出できるようにする。【解決手段】 基板22上に固定された各支持部26には、枠体29,各支持梁31,振動体32からなる振動板28が各支持梁27を介してX軸,Y軸方向に振動可能に支持される。振動体32は、各支持梁31を介して枠体29にZ軸方向に振動可能に支持される。各固定部33は振動板28を挟むように基板22上に固定され、固定側くし状電極34と可動くし状電極30とは対向して振動発生部35を構成する。基板22上には固定側検出用電極が形成され、振動体32には可動側検出用電極が形成され、各検出用電極は振動体32のY軸,Z軸方向変位検出部を構成する。そして、振動板28をX軸方向に振動させた状態で、Z軸,Y軸周りの角速度が加わると、コリオリ力によって振動体32をY軸,Z軸方向にそれぞれ変位させ、この変位をZ軸,Y軸周りからなる2方向の角速度としてそれぞれ検出する。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられた第1の支持梁と、前記基板の表面から離間した状態で該第1の支持梁の先端側に設けられ、前記基板に対して水平なX軸,Y軸方向に変位可能な第1の振動体と、基端側が該第1の振動体に設けられた第2の支持梁と、前記基板の表面から離間した状態で該第2の支持梁の先端側に設けられ、前記第1の振動体と共に前記基板に対し水平なX軸,Y軸方向に変位可能でかつ前記基板と垂直なZ軸方向に変位可能な第2の振動体と、前記第1の振動体をX軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記第1の振動体にX軸方向の振動を与えている状態で、角速度による第2の振動体が変位するときの変位量をY軸方向,Z軸方向の2方向から検出する変位検出手段とから構成してなる角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
