感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズへの使用、並びに層間絶縁膜およびマイクロレンズ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135912
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327877
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】十分なプロセスマージンを有し層間絶縁膜およびマイクロレンズ用として好適な感放射線性樹脂組成物、並びにそれから形成される層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、[A]不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、エポキシ基含有の特定の(メタ)アクリレート、およびこれらの化合物と異なるオレフィン系不飽和化合物との共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。層間絶縁膜およびマイクロレンズは、上記感放射線性樹脂組成物より形成される。

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)下記式(1)【化1】式中、Rは水素原子またはメチル基であり、R1は炭素数1〜4のアルキル基でありnは1〜6の整数である、で示される単量体および/または下記式(2)【化2】式中、R2は水素原子またはメチル基であり、pは1〜6の整数であり、qは1〜6の整数である、で示される単量体、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物を共重合して得られる共重合体と[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (8件)：

C08L 33/14 , C08F220/32 , C08K 5/28 , G02B 3/00 , G03F 7/022 , G03F 7/033 , G03F 7/039 , H01L 21/312

FI (8件)：

C08L 33/14 , C08F220/32 , C08K 5/28 , G02B 3/00 A , G03F 7/022 , G03F 7/033 , G03F 7/039 , H01L 21/312 D

Fターム (78件)：

2H025AA00 , 2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC07 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB30 , 4J002BC021 , 4J002BD031 , 4J002BD101 , 4J002BF021 , 4J002BG071 , 4J002BG101 , 4J002BG131 , 4J002BL011 , 4J002CM041 , 4J002EQ036 , 4J002EV246 , 4J002EV266 , 4J002GP01 , 4J002GP03 , 4J002GQ01 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB04R , 4J100AB07R , 4J100AC03R , 4J100AC04R , 4J100AG04R , 4J100AJ01P , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AK31P , 4J100AK32P , 4J100AL03R , 4J100AL08Q , 4J100AL09R , 4J100AL34R , 4J100AL62R , 4J100AL66R , 4J100AM02R , 4J100AM15R , 4J100AM48R , 4J100AS02R , 4J100AS03R , 4J100BA02Q , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04R , 4J100BA05R , 4J100BC04Q , 4J100BC04R , 4J100BC07R , 4J100BC08R , 4J100BC43R , 4J100BC54Q , 4J100CA05 , 4J100JA33 , 4J100JA37 , 4J100JA39 , 5F058AA05 , 5F058AA08 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AG09 , 5F058AH02

前のページに戻る