特許

J-GLOBAL ID：200903037322272770

特殊塗装被覆マスクペリクル枠

発明者： 岸野 昭二
出願人/特許権者： 株式会社アルモウルド
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247852
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038287
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 従来の方法におけるマスクペリクル枠表面に発生する気孔による欠陥を解決し、マスクペリクル枠の材質に関係なく耐化学薬品性のある無欠陥皮膜を成形する。【解決手段】 本発明の特殊塗装被覆マスクペリクル枠は、マスクペリクル枠素材1と特殊塗装被覆2から構成されている。

請求項（抜粋）：

マスクペリクル枠全表面に特殊塗装被覆したことを特徴とする技術。

IPC (2件)：

B05D 5/00 ,  B05D 7/14

FI (2件)：

B05D 5/00 K ,  B05D 7/14 P

Fターム (6件)：

4D075CA44 ,  4D075DA06 ,  4D075DA23 ,  4D075DB01 ,  4D075DB07 ,  4D075DC24