特許
J-GLOBAL ID：200903037323702590
基板処理装置のプログラム追加方法及び基板処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-204927
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047837
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】動作制御用プログラムを切り替えるに際して、外部よりこのプログラムをファイルとして送信し、且つこのプログラムを起動させることが可能な基板処理装置のプログラム追加方法を提供する。【解決手段】動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部14の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニット10を有すると共に、外部監視装置6との間で通信を行うために所定の通信用プログラムの下で動作する送受信部12を有する基板処理装置のプログラム追加方法において、新たな動作制御用プログラムをファイルとして外部監視装置側から基板処理装置側へ送信する工程と、基板処理装置側へ送信された新たな動作制御用プログラムを起動させる指令を外部監視装置側から送信する工程とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
動作制御用プログラムと処理用プログラムにより主制御部の下で制御されて被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニットを有すると共に、外部監視装置との間で通信を行うために所定の通信用プログラムの下で動作する送受信部を有する基板処理装置のプログラム追加方法において、
少なくとも新たな動作制御用プログラムをファイルとして前記外部監視装置側から前記基板処理装置側へ送信する工程と、
前記基板処理装置側へ送信された前記新たな動作制御用プログラムを起動させる指令を前記外部監視装置側から送信する工程と、
を有することを特徴とする基板処理装置のプログラム追加方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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