特許
J-GLOBAL ID:200903037325197419
光学測定方法及び光学測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-218510
公開番号(公開出願番号):特開平9-061343
出願日: 1995年08月28日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【目的】 短時間で光波形の真の重心を求め被測定物の内部情報を取得することのできる光学測定装置及び光学測定方法を提供する。【構成】 本発明の光学測定装置は、プローブ光を出力する光源(10)、光導波手段(12及び14)、光検出手段(16)、重心演算部(18、20)、並びに差分演算部(30)を備えている。差分演算部が観測波形の重心から装置関数の重心を減算することで高速かつ簡易に真のプローブ光波形の重心を求めるので、短時間で所望の光学測定を行うことができる。
請求項(抜粋):
光源からプローブ光を出射させ、所定箇所を通過したプローブ光を光検出手段で検出し、プローブ光の波形の重心を求める第1の工程と、前記所定箇所に被測定物を配置するとともに前記光源からプローブ光を出射させ、この被測定物を透過し又は反射されたプローブ光を前記光検出手段で検出し、プローブ光の波形の重心を求める第2の工程と、前記第2の工程で求めた重心から前記第1の工程で求めた重心を減算する第3の工程と、を備える光学測定方法。
IPC (3件):
G01N 21/27
, A61B 5/00
, G01J 1/42
FI (4件):
G01N 21/27 B
, G01N 21/27 Z
, A61B 5/00 G
, G01J 1/42 N
引用特許:
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