特許

J-GLOBAL ID：200903037325411151

異物検査方法及び異物検査装置

発明者： 鄭 有成
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039675
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317533
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】異物と検査光のスポットとの位置関係に影響されることなく異物を正確に検査でき、信頼性の高い異物検査装置を提供することにある。【構成】試料を走査させながらスポット状の検査光を投光し試料表面で生ずる散乱光を受光して得た散乱光信号に基づいて異物の存在や大きさを検出する異物検査方法において、検査光を半径分ずつ重ねて走査し、得られた散乱光信号を離散化し、前後を含む3回分の散乱光信号を加算して第nの走査信号とし、走査位置毎に第nの走査信号と第(n-1)及び第(n+1)の散乱光信号とを比較して増加分のある信号成分を抽出し、第nの走査信号に基づいて異物の存在や大きさを検出する。

請求項（抜粋）：

試料を走査させながらスポット状の検査光を投光し試料表面で生ずる散乱光を受光して得た散乱光信号に基づいて異物の存在や大きさを検出する異物検査方法において、第(n-1)の走査軌道で前記試料を走査させながら第(n-1)の散乱光信号を検出する第(n-1)の走査工程と、前記第(n-1)の走査軌道から検査光のスポット半径分だけ移動させた第nの走査軌道で前記試料を走査させながら第nの散乱光信号を検出する第nの走査工程と、前記第nの走査軌道から検査光のスポット半径分だけ移動させた第(n+1)の走査軌道で前記試料を走査させながら第(n+1)の散乱光信号を検出する第(n+1)の走査工程と、前記第(n-1),第n及び第(n+1)の散乱光信号をそれぞれ所定時間ごとに離散的に抽出する信号抽出工程と、対応する走査位置ごとに前記信号抽出工程において抽出された第(n-1),第n及び第(n+1)の散乱光信号を加算して第nの走査信号として出力する加算工程と、対応する走査位置ごとに前記第nの走査信号と前記第(n-1)の散乱光信号とを大小比較して第(n-1)の散乱光信号より大きくない第nの走査信号を無効にする第1の比較工程と、対応する走査位置ごとに前記第nの走査信号と前記第(n+1)の散乱光信号とを大小比較して第(n+1)の散乱光信号より大きくない第nの走査信号を無効にする第2の比較工程と、前記第nの走査信号に基づいて異物の存在や大きさを検出する異物検出工程とを具備することを特徴とする異物検査方法(但し、nは正の整数とする)。