特許
J-GLOBAL ID：200903037326735538
基板カセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-117933
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326656
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 角形基板の製造工程で用いる角形基板用の基板カセットに関し、簡単な構造の改良により剥離したレジストによる基板表面の品質の低下を容易に防止する基板カセットの提供を目的とする。【構成】 下部支持部1と上部支持部3との間に複数個の重層した中間支持部2を挟む分割可能な構造の基板カセットにおいて、この下部支持部1が基板4を支持する凹部1aと、位置決めピン1bと、この上部支持部3に設けたロック機構3bと互いに掛合するロック機構1cとを具備するものであり、この中間支持部2がこの基板4を支持する凹部2aと、この位置決めピン1b或いは重層した下部の中間支持部2の位置決めピン2bと嵌合する位置決め穴2bと、位置決めピン2cとを具備するものであり、この上部支持部3がこの位置決めピン2cと嵌合する位置決め穴3aと、この下部支持部1に設けたこのロック機構1cと互いに掛合するロック機構3bとを具備するように構成する。
請求項（抜粋）：
下部支持部(1) と上部支持部(3) との間に複数個の重層した中間支持部(2) を挟む分割可能な構造の基板カセットにおいて、前記下部支持部(1) が基板(4) を支持する凹部(1a)と、位置決めピン(1b)と、前記上部支持部(3) に設けたロック機構(3b)と互いに掛合するロック機構(1c)とを具備するものであり、前記中間支持部(2) が前記基板(4) を支持する凹部(2a)と、前記位置決めピン(1b)或いは重層した下部の中間支持部(2) の位置決めピン(2b)と嵌合する位置決め穴(2b)と、位置決めピン(2c)とを具備するものであり、前記上部支持部(3) が前記位置決めピン(2c)と嵌合する位置決め穴(3a)と、前記下部支持部(1) に設けた前記ロック機構(1c)と互いに掛合するロック機構(3b)とを具備するものである、ことを特徴とする基板カセット。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65H 1/26 310
, H01L 21/027
B65D 85/38 D
, H01L 21/30 502 J
