特許
J-GLOBAL ID:200903037327505692

液晶表示パネルのスペーサ検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 磯野 道造
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-109743
公開番号(公開出願番号):特開平8-304227
出願日: 1995年05月08日
公開日(公表日): 1996年11月22日
要約:
【要約】【目的】簡単な構造の定盤により、スペーサを確実に検出できるように構成した液晶表示パネルのスペーサ検査装置を提供することを目的とするものである。【構成】薄膜トランジスタパターン4が焼き付けられたガラス基板5上に均一にスペーサ7を散布して被検体とし、該被検体を、所定間隔を有して刻設された多数の溝15aにそれぞれ白色の反射体33を埋め込んだ定盤15上に載置し、定盤の白色の反射体33上の前記被検体を照射して、その反射光によりスペーサ7を検出してなる液晶表示パネルのスペーサ検査装置とした。
請求項(抜粋):
薄膜トランジスタパターンが焼き付けられたガラス基板上に均一にスペーサを散布して被検体とし、該被検体を、所定間隔を有して刻設された多数の溝にそれぞれ白色の反射体を埋め込んだ定盤上に載置し、前記定盤の白色の反射体上の前記被検体を照射して、その反射光により前記スペーサを検出してなることを特徴とする液晶表示パネルのスペーサ検査装置。
IPC (2件):
G01M 11/00 ,  G02F 1/1339 500
FI (2件):
G01M 11/00 T ,  G02F 1/1339 500

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