特許

J-GLOBAL ID：200903037336451830

光走査型顕微鏡

発明者： 黒岩 義典
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018366
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189864
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 画像を取得したい範囲以外への光の照射を確実かつ容易に阻止する。【解決手段】 光ビームLBを発する光源2から試料4までの光路中に配置され、光ビームLBが試料4へ向かうのを阻止する遮光状態と光ビームLBが試料4へ向かうのを許す透光状態とを切換えるAOM11と、スキャナ制御回路20から得られる走査位置情報20aに基づき、スキャナ制御回路20による走査範囲内の所定の部分領域でAOM11を透光状態にする制御回路30とを備える。

請求項（抜粋）：

光ビームを発する光源と、試料上で前記光ビームを2次元的に走査する走査手段と、前記試料からの光を検出する検出手段と、この検出手段の出力と前記走査手段から得られる走査位置情報とに基づき前記試料の画像を得る画像取得手段とを備えた光走査型顕微鏡において、前記光源から前記試料までの光路中に配置され、前記光ビームが前記試料へ向かうのを阻止する第1の状態と前記光ビームが前記試料へ向かうのを許す第2の状態とを切換える光ビーム切換手段と、前記走査手段から得られる走査位置情報に基づき、前記走査手段による走査範囲内の所定の部分領域で前記光ビーム切換手段を前記第2の状態にする制御回路とを備えることを特徴とする光走査型顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/06 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

G02B 21/06 ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/64 E ,  G02B 21/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-159510
  
• 試料観察方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330567   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭56-131940
  

審査官引用 (3件)

• 試料観察方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330567   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-159510
  
• 特開昭56-131940