特許
J-GLOBAL ID：200903037342390419
圧電型振動センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013441
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203666
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 感知軸に垂直な面方向の感度を低下させて、感度の異方性を高めた圧電型振動センサ。【構成】 基板3の周縁部に放射状にほぼ等間隔に4個以上の切欠部21または突部22を形成し、この基板3が固定される中空パッケージ5の上に基板3の切欠部21または突部22に対応する位置に突部または切欠部を形成し、これら切欠部と突部とを嵌合した圧電型振動センサ。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に固定された感知部と、この感知部上に固着され、慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体を有する振動センサユニットを、中空パッケージ内に納め、上記振動センサユニットの基板のみを中空パッケージに浮かして固定し、中空パッケージの底部を被測定物に取付けるようにした圧電型振動センサにおいて、上記基板の周縁部に放射状にほぼ等間隔に4個以上の切欠部または突部を形成し、この基板が固定される中空パッケージの上記基板の切欠部または突部に対応する位置に突部または切欠部を形成し、これら切欠部と突部を嵌合したことを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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