特許

J-GLOBAL ID：200903037347811412

切削装置の切削ブレード監視装置

発明者： 森本 賀津美 ,  松原 政幸 ,  菅野 洋平
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-192012
公開番号（公開出願番号）：特開2004-034192
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】切削水やコンタミの影響を受けることなく切削ブレードの切れ刃の状態を正確に検出することができるとともに、所謂マルチブレードを装備した切削装置にも適用することができる切削装置の切削ブレード監視装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段とを具備し、該切削手段が回転スピンドルと該回転スピンドルに装着され砥粒を磁性材によって固定した切れ刃を有する切削ブレードを備えている切削装置の切削ブレード監視装置であって、切削ブレードの切れ刃の外周に対向して配設された磁気センサーと、該磁気センサーからの検出信号に基づいて切れ刃の状態を判定する制御手段とを具備している。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段とを具備し、該切削手段が回転スピンドルと該回転スピンドルに装着され砥粒を磁性材によって固定した切れ刃を有する切削ブレードを備えている切削装置の切削ブレード監視装置であって、 該切削ブレードの該切れ刃の外周に対向して配設された磁気センサーと、 該磁気センサーからの検出信号に基づいて該切れ刃の状態を判定する制御手段と、を具備している、 ことを特徴とする切削装置の切削ブレード監視装置。

IPC (2件)：

B23Q17/09 ,  H01L21/301

FI (2件)：

B23Q17/09 C ,  H01L21/78 F

Fターム (2件)：

3C029DD04 ,  3C029DD08

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 電鋳薄刃砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-368479   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 切削ブレードのプリカット方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-346638   出願人：株式会社ディスコ
• 特開昭52-110930
  
• 特開昭59-072045
  
• 磁気検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-159558   出願人：株式会社三協精機製作所