特許
J-GLOBAL ID：200903037356852784
Al-Si薄膜のエッチング液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-193299
公開番号（公開出願番号）：特開平6-010161
出願日： 1992年06月25日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】Al-Si電極や配線のエッチング加工を高価な設備を必要することなく簡易な方法で実施できるAl-Si薄膜のエッチング液組成物を提供する目的とする。【構成】弗酸、硝酸および水の混合物で構成され、上記混合物の容量比が弗酸10、硝酸250、水60であり、従来AlとSiの2段階でエッチング処理していたAl-Si薄膜のエッチング処理を高価なエッチング装置を用いることなく1回のエッチングで行なえる。
請求項（抜粋）：
弗酸、硝酸および水の混合物で構成されることを特徴とするAl-Si薄膜のエッチング液組成物。
IPC (3件)：
C23F 1/24
, C23F 1/20
, H01L 21/308
