画像自動分類方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065151
公開番号（公開出願番号）：特開2001-256480
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】欠陥属性毎に設定される欠陥分類のための教示データが製造プロセスの変動に追従するようにして、欠陥の高い分類性能を確保できるようにする。【解決手段】半導体ウェーハ検出される欠陥からその特徴量を計算して特徴量空間に割り当て、図10(a)に示すように欠陥の特徴領空間での分布からカテゴリを割り当て、欠陥分類のための教示データを作成する。半導体ウェーハ検出される欠陥を夫々の欠陥属性に分類する場合には、この教示データを用いるのであるが、欠陥分類実行時では、半導体ウェーハから検出される分類対象の欠陥について、同様の処理を行なって図10(b)に示すような分類対処データを作成し、これを図10(a)に示すように教示データと比較する。半導体製造プロセスに変動があると、これらデータに違いが生ずる場合があり、この違いがあると、この違いに応じて先に求めた教示データを修正する。

請求項（抜粋）：

被検査対象物を撮像して得られた画像を基に作成した教示データを参照して、被検査対象物を撮像して得られた画像がどのカテゴリに属するかを判定する画像自動分類方法において、分類対象としての1個もしくは複数個の画像のデータである分類対象データから計算された特徴量の統計量と該教示データから計算される特徴量の統計量とから、該教示データもしくは分類対象データの性質を解析し、該解析結果に応じて、自動もしくは手動で該教示データを更新することを特徴とする画像自動分類方法。

IPC (7件)：

G06T 1/00 305 , G01B 11/30 , G01N 21/956 , G06F 17/30 170 , G06F 17/30 210 , G06T 7/00 300 , G06T 7/00 350

FI (7件)：

G06T 1/00 305 A , G01B 11/30 A , G01N 21/956 A , G06F 17/30 170 B , G06F 17/30 210 D , G06T 7/00 300 F , G06T 7/00 350 B

Fターム (55件)：

2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065AA61 , 2F065CC19 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065QQ36 , 2F065QQ41 , 2F065RR06 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051CA04 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051ED21 , 5B057AA03 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DC03 , 5B057DC25 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5B075ND06 , 5B075NK46 , 5B075NR12 , 5B075PP02 , 5B075PP03 , 5B075PQ02 , 5B075PQ46 , 5B075QP01 , 5B075QT04 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA32 , 5L096FA33 , 5L096FA59 , 5L096FA64 , 5L096GA38 , 5L096JA11 , 5L096JA22 , 5L096KA04 , 5L096MA07

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