特許

J-GLOBAL ID：200903037376511932

TiAl化合物膜被覆部材およびその製造方法

発明者： 木幡 護
出願人/特許権者： 東芝タンガロイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295425
公開番号（公開出願番号）：特開2003-113463
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】 近年切削加工の高能率化が求められ、従来のTiAl化合物膜被覆部材より耐摩耗性などの切削性能が優れるTiAl化合物膜被覆部材が求められるようになった。【解決手段】 TiAl化合物膜形成工程中に該真空容器と該基材間に印加する基材電圧を-20V〜-300Vの範囲で連続的および/または段階的に降下させたのち上昇させるという調整を行いTiAl化合物膜を被覆した。こうして作製されたTiAl化合物膜被覆部材には残留圧縮応力と耐酸化性が高く密着性の良い被膜が被覆されているため、従来品に比べ耐摩耗性、耐欠損性などの切削性能が高い。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つのエッジ稜線を有する形状に形成された基材の表面に単層膜または多層膜の被膜が被覆された被覆部材において、該被膜は、TiとAlを含む窒化物,炭化物,炭窒化物,炭酸化物,窒酸化物,炭窒酸化物の中の少なくとも1種からなるTiAl化合物膜を含み、該エッジ稜線の近接部における該TiAl化合物膜は、Ti/Al原子比が該TiAl化合物膜内で最大となる第1膜層と、該第1膜層に対しTi/Al原子比が小さい第2膜層とを含む少なくとも2層の多層膜からなり、該エッジ稜線の近接部を除いた該TiAl化合物膜表面の中心部におけるTiAl化合物膜は、Ti/Al原子比が一定である単層膜からなるTiAl化合物膜被覆部材。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23C 5/16 ,  B23P 15/28

FI (4件)：

C23C 14/06 A ,  B23B 27/14 A ,  B23C 5/16 ,  B23P 15/28 A

Fターム (12件)：

3C046FF10 ,  3C046FF23 ,  4K029BA41 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BC01 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA13