特許

J-GLOBAL ID：200903037386495854

電子デバイス製造用薬液の供給装置および容器交換方法

発明者： 一 山 昌 章 ,  櫻 井 貴 昭 ,  石 川 智 規
出願人/特許権者： AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社
代理人 (4件)： 吉武 賢次 ,  中村 行孝 ,  紺野 昭男 ,  横田 修孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-043697
公開番号（公開出願番号）：特開2005-236050
出願日： 2004年02月19日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：

【課題】 薬液の変質を防ぎ、製品化の作業効率の改善および不良品率の低減が可能とする電子デバイス製造用薬液の供給装置および容器交換方法の提供。【解決手段】 耐圧容器、塗布装置と前記耐圧容器とを連結する薬液流通配管、前記耐圧容器内および配管中に不活性ガスを導入/排出するための不活性ガス導入・排出配管とを具備してなる薬液供給装置であって、 前記耐圧容器が、前記薬液流通配管および前記不活性ガス導入・排出配管と、接続コネクタを介して接続されていて、前記配管類から着脱が可能であり、 前記薬液流通配管が途中バルブを有し、前記バルブと、前記耐圧容器との間に、もう一つの不活性ガス導入・排出配管と、洗浄用溶剤導入配管と、ドレイン配管とを具備してなることを特徴とする薬液供給装置と、それを用いて薬剤を大気に接触させずに耐圧装置を交換する方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

耐圧容器、前記耐圧容器内に充填された薬液を利用する塗布装置と前記耐圧容器とを連結する薬液流通配管、前記耐圧容器内および前記薬液流通配管中に不活性ガス導入し、さらに導入された不活性ガスを排出するための不活性ガス導入・排出配管とを具備してなる薬液供給装置であって、 前記耐圧容器が、前記薬液流通配管および前記不活性ガス導入・排出配管と、接続コネクタを介して接続されていて、前記配管類から着脱が可能であり、 前記薬液流通配管が途中バルブを有し、前記バルブと、前記耐圧容器との間に、もう一つの不活性ガス導入・排出配管と、洗浄用溶剤導入配管と、ドレイン配管とを具備してなる ことを特徴とする薬液供給装置。

IPC (2件)：

H01L21/31 ,  H01L21/304

FI (2件)：

H01L21/31 A ,  H01L21/304 648K

Fターム (4件)：

5F045EB06 ,  5F045EB19 ,  5F045EC07 ,  5F045EE14