特許

J-GLOBAL ID：200903037398204022

カラーフィルタの製造方法及びそれに用いるカラーフィルタ基板

発明者： 中島 泰秀 ,  佐々木 賢
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041515
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234014
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 フォトマスク基板とカラーフィルタ基板との位置合わせを速くして製造効率を挙げるようにする。【構成】 カラーフィルタ基板10上に赤、緑、青の各着色画素のパターンを順次位置合わせして形成することによりカラーフィルタを製造するに際して、くさび型の第1のアライメントマークを形成したフォトマスク基板20と、くさび型の第2のアライメントマークを形成したカラーフィルタ基板10とを用い、これら第1及び第2のアライメントマークによりフォトマスク基板20とカラーフィルタ基板10の位置合わせを行う。各基板10,20上のアライメントマークの位置関係を1ライン上の検出のみで素早く認識でき、位置合わせに要する時間を短縮できる。基板10,20の向きや表裏を間違えた場合、くさび型のアライメントマークが逆になるので、セッティング間違いを簡単に発見できる。

請求項（抜粋）：

遮光層のパターンを形成したカラーフィルタ基板上に赤、緑、青の各着色画素のパターンを順次位置合わせして形成することによりカラーフィルタを製造する方法において、くさび型の第1のアライメントマークを形成したフォトマスク基板と、くさび型の第2のアライメントマークを形成したカラーフィルタ基板とを用い、前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメントマークによりフォトマスク基板とカラーフィルタ基板の位置合わせを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-032302
  
• 特開昭57-176720
  
• 特開昭63-102227