特許
J-GLOBAL ID:200903037406049295

電子部品の移送装置と移送方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-268612
公開番号(公開出願番号):特開平8-130235
出願日: 1994年11月01日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【目的】 電子部品の搬送移載装置に関し、真空吸着用エアシリンダへの制御容易化と部品開離の確実化を実現して生産性の向上を図ることを目的とする。【構成】 開口部を部品吸着部とする第1の吸着シリンダ4と該開口部を密閉して密閉部とした第2の吸着シリンダ4とを一体化併設した電子部品の移送装置であって、第1の吸着シリンダ4にはピストンヘッドの開口側端面にバキュームパッド16の部品吸着面を越える高さのプッシャ41を装着すると共にバキュームパッド域の真空度検出手段43を設け、該第1の吸着シリンダ4と第2の吸着シリンダ5とは第1の吸着シリンダ4のバキュームパッド近傍と第2の吸着シリンダ5の上記密閉域との間を流気管3aで接続して構成する。
請求項(抜粋):
バキュームパッドが装着された開口部を電子部品の吸着部とする第1の吸着シリンダと、該第1の吸着シリンダと同じ構成でその開口側のみを密閉した第2の吸着シリンダとを少なくとも備えて構成され、第1の吸着シリンダには、それに内設されて往復動するピストンヘッドの開口側端面に該ピストンヘッドが開口側に位置したときに上記バキュームパッドの電子部品吸着面を越える高さの弾性材からなるプッシャが設けられていると共に、上記バキュームパッド近傍に電子部品吸着時の真空度検出手段が設けられ、第1の吸着シリンダと第2の吸着シリンダとは、第1の吸着シリンダのバキュームパッド近傍と第2の吸着シリンダの上記密閉部近傍とが流気管で接続されてなることを特徴とする電子部品の移送装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  H05K 13/02

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