振動型ジャイロスコープ、これに使用する振動子、振動子の振動の解析方法、振動子の支持方法および振動型ジャイロスコープの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179777
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173857
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】回転角速度を高感度で測定することができる振動型ジャイロスコープを提供する。【解決手段】複数の振動片2〜4と、複数の振動片を接続する基部5とから構成され、振動片に所定の面内における駆動振動を与え、加えられた回転角速度に対応する検出振動から、回転角速度を求める振動子1を用いた振動型ジャイロスコープにおいて、検出振動の一番小さい領域の局在する小領域6で振動子1を支持する。

請求項（抜粋）：

振動子に加えられている回転の回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、前記振動子が、複数の振動片と、複数の振動片を接続する基部とを備えており、前記振動片のうちの少なくとも一つに駆動振動を与えたときに前記回転角速度に応じて前記振動子に励起される検出振動から、前記回転角速度を求めるように構成されており、前記振動子のうち前記検出振動が最も小さい領域で前記振動子を支持する支持手段を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/09

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-106314
特開昭62-217115

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