無摺動真空ゲートバルブ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112679
公開番号（公開出願番号）：特開平9-303578
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】従来の無摺動真空ゲートバルブは、傾斜リンクと引張ばね、又は、板状カムと引張ばねあるいはピンとカム孔によって弁板と弁棒の傾動及び傾動防止を行っていたため、構造が複雑で、かつ、小型化が困難であった。【解決手段】本発明による無摺動真空ゲートバルブは、弁棒(4)の端部に設けられた曲折状のカムリード体(14)に、接続棒(17)に設けられた1対のローラ(19、20)を係合させて相対移動を行うことにより弁板(5)と弁棒(4)等の上下動と傾動を案内する構成である。

請求項（抜粋）：

弁箱(1)の開口(2)を、前記弁箱(1)に設けられたシリンダ(8、9)及びシールベローズ(12)を介して移動しつかつ傾動する弁棒(4)に設けられた弁板(5)で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブにおいて、前記弁棒(4)と前記シリンダ(8、9)の連結棒(17)との間に、カムリード体(14)と一対のローラ(19、20)を設け、前記カムリード体(14)を前記各ローラ(19、20)で挟持することにより、前記シリンダ(8、9)の動きを前記弁棒(4)に伝達して、前記弁板(5)による前記開口(2)の開閉を行うように構成したことを特徴とする無摺動真空ゲートバルブ。

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