特許

J-GLOBAL ID：200903037408778588

表面波構成素子及びそのための減衰構造体の製法

発明者： ハイナー バイアー ,  ヴァルター フィッシャー ,  ヴィンフリート プルンドリッヒ ,  ハンス シュテルツル ,  ヴォルフガング パール
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-517247
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510401
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】表面波構成素子用に、UVにより開始されるカチオン硬化性エポキシ樹脂からの減衰構造体(5)を提案する。この溶剤不含のエポキシ樹脂は、脂環式エポキシドをベースとしており、スクリーン印刷法を用いてウェーハ(2)上に施与される。ウェーハ(2)を鋸により切断する際には、剥離及び剥落なく減衰組成物(5)を鋸で切断することができる。減衰構造体(5)の減衰挙動及び腐食挙動は、表面波フィルターに関する要求を満足する。

請求項（抜粋）：

表面波構成素子において、- 圧電材料からの基材(2)を有し、- 基材の表面上に変換器電極(3、4)を有し、かつ- 少なくとも一部分の表面上に印刷された音響的減衰構造体(5)を有し、- ウェーハ(2)上に製造された表面波構成素子の切り離しの際に減衰構造体(5)を貫通した鋸による断面を有し、- 減衰構造体が、脂環式エポキシド、多価フェノール及びカチオン硬化工程用の光開始剤から製造された、UVにより開始されるカチオン硬化性エポキシ樹脂を含有することを特徴とする表面波構成素子。

IPC (4件)：

H03H 9/25 ,  C08G 59/20 ,  C08G 59/62 ,  H03H 3/08

FI (4件)：

H03H 9/25 A ,  C08G 59/20 ,  C08G 59/62 ,  H03H 3/08