特許
J-GLOBAL ID：200903037409081688

光学式3次元位置測定装置および位置測定方法

発明者：
根岸 真人

根岸 真人 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-309491
公開番号（公開出願番号）：特開2005-077295
出願日： 2003年09月02日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 サブミクロンオーダの位置精度で位置マークを検出できる光学式3次元位置測定装置を実現する。【解決手段】 Xスライド11およびYスライド12上に支持されたZスライド13にカメラ16を保持させ、被測定物W1 の位置マーク球に光てこ光学系19からの収束光を照射してカメラ16の焦点位置に位置マーク球の球心位置が一致するようにX、Y、Zスライド11〜13を移動させる。この状態で、Zスライド13のX、Y、Z位置をレーザー測長器61〜65によって測定し、測定値から位置マーク球の3次元座標を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
位置マークを備えた被測定物を支持する支持手段を有する基台と、前記基台上で2次元的に移動するXYステージと、前記XYステージ上で垂直に移動自在であるZステージと、前記Zステージに保持され、前記Zステージとともに移動して前記位置マークを検出する光学式位置マーク検知手段と、前記ZステージのX方向の位置を測定するためのXレーザー測長器と、前記ZステージのY方向の位置を測定するためのYレーザー測長器と、前記ZステージのZ方向の位置を測定するためのZレーザー測長器と、前記光学式位置マーク検知手段によって前記位置マークが検知されたときの前記X、Y、Zレーザー測長器のそれぞれの測定値に基づいて前記位置マークの3次元位置を算出する演算手段とを有することを特徴とする光学式3次元位置測定装置。
IPC (1件)：
G01B11/00
FI (1件)：
G01B11/00 A
Fターム (25件)：
2F065AA04 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065BB28 ,  2F065CC17 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065FF55 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ24 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM07 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ25
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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