特許
J-GLOBAL ID：200903037432067889
振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272206
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115526
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】振動子の特性が周囲の磁場による影響を受け難く、しかも、加工が容易であって、電気的及び機械的な特性の調整を容易に行えるようにする。【解決手段】外形が平面ほぼ正方形状を有し、中央に平面ほぼ円形状の開口10を有する環状枠部12と、該環状枠部12の開口10内に配され、かつ振動子を構成する外形が平面ほぼ円形状の環状部14と、前記環状枠部12の内周と環状部14の外周との間に架設された複数の弾性部16(16a〜16h)とをセラミックスの一体焼成体にて構成し、更に、各弾性部16(16a〜16h)の上面に圧電/電歪素子18(駆動用圧電/電歪素子18A及び検出用圧電/電歪素子18B)を形成して構成する。各弾性部16(16a〜16h)の高さ方向の厚みを、環状部14の厚みよりも小に設定し、圧電/電歪素子18の振動方向に対する剛性を低下させて環状部14(振動子)での振動振幅が大となるように薄肉とする。
請求項（抜粋）：
振動子を構成する環状部位と、該環状部位を弾性的に支持する支持体と、前記支持体と前記環状部位間に設けられた複数の弾性部位と、前記環状部位上に形成された圧電/電歪素子とを具備し、前記環状部位、前記支持体及び前記複数の弾性部位が共に、セラミックスの一体焼成体にて構成され、前記環状部位のうち、前記圧電/電歪素子が形成されている部分が、その高さ方向について薄肉とされた板状部にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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