特許
J-GLOBAL ID：200903037434324668
静電容量式加速度センサおよびその較正,診断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275824
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133708
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、自己診断,自己較正あるいは補正機能付の検出装置を提供することである。【解決手段】静電容量式加速度センサにおいて、検出部に刺激を与える手段と、検出部の較正または診断を行う手段と備えること。【効果】正確な検出出力を得ることができる。
請求項（抜粋）：
第1の電極と、前記第1の電極に対向して配置され、ばね手段により支持され、前記第1の電極に向かって変位する第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量に基づいて加速度を検出する検出手段と、前記第2の電極を変位させるように前記第1の電極と前記第2の電極との間に較正電圧を与える刺激手段と、前記較正電圧によって引き起こされる前記第2の電極の変位を測定する測定手段と、前記第2の電極の変位に基づいて、前記検出手段の較正を行う較正手段と、を備えたことを特徴とする静電容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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